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小型工具顯微鏡直角座標(biāo)中測定長度，例如測定孔距、基面距離、刻線距離、刻線寬度、鍵槽寬度，狹縫寬度、通孔外圓直徑等等。

正置金相顯微鏡配置落射與透射照明系統(tǒng)、長距平場消色差物鏡（無蓋玻片）、大視野目鏡和內(nèi)置偏振觀察裝置，具有圖像清晰、襯度好，操作方便等特點

無窮遠(yuǎn)正置金相顯微鏡采用無窮遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，成像效果較好。可進(jìn)行明視場、簡易偏光觀察。是半導(dǎo)體檢驗、電路封裝、電路基板、材料等行業(yè)適用的儀器。

大平臺有限遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡廣泛的應(yīng)用于透明，半透明或不透明物質(zhì)的觀測。本儀器配有大移動范圍的載物臺，落射照明器、平場金相物鏡，大視野目鏡，圖像清晰、襯度較好，同時配有偏光裝置，是專門為檢測晶圓而設(shè)計制造的。